近日，睿勵科學儀器（上海）有限公司（以下簡稱“睿勵科學儀器”）宣布完成近5億元戰略融資，本輪融資由金石投資和招商致遠聯合領投，河南資產、金信資本、鼎青投資等跟投。所融資金主要用于進一步提升先進半導體制程用的光學量檢測設備的國產替代能力，豐富產品種類，加大市場開拓力度能力。

睿勵科學儀器成立于2005年，總部位于上海張江。公司致力于開發、生產和銷售具有自主知識產權及核心技術的集成電路芯片制造工藝用的光學量檢測設備，是國內第一批半導體前道工藝國產設備公司，也是半導體行業國內第一家量檢測領域的國產設備公司。迄今為止，睿勵科學儀器仍是進入三星半導體產線的唯一國產設備廠商，也是目前唯一為半導體芯片制造良率控制、提供批量有圖形光學缺陷檢測設備的國產設備企業。

截至目前，公司已取得了多項榮譽。2023年，公司作為續評多年的國家級高新技術企業，又連續獲評為國家級專精特新“小巨人”企業、上海市小巨人培育企業；并在2024年被認定為上海企業技術中心。

一、國內首家量檢測設備開發企業浦東科創集團、中微半導體是其大股東

2005年，在上海市政府的支持下，曾任全球第一大量檢測設備企業研發科學家、研發經理的呂彤欣博士，回國創辦了國內第一家專注于集成電路生產前道工藝量檢測設備開發的企業——睿勵科學儀器。公司核心團隊來自行業國際巨頭，專業技術團隊成員大都來自國際前兩名的量檢測設備企業以及國內著名光學技術類公司，擁有多項全自主研發的專利技術。

量檢測設備是位列刻蝕、薄膜沉積、光刻后第四大市場的半導體設備，規模占半導體設備市場份額的15%左右。中國半導體量檢測設備市場則被國際廠商高度壟斷，是半導體設備中除光刻機外國產化率最低的領域。

作為國內少數成規模的前道量檢測設備企業之一，睿勵科學儀器分別于2009年和2011年承接兩項國家科技重大專項，又相繼承擔了上海市首批戰略新興產業項目和上海市第十三批戰略新興產業重大項目。在完成2009年專項的同時，2013年，睿勵科學儀器成功實現國內首臺300mm橢偏膜厚設備交付。

創業之路九死一生，由于投入大、研發時間久，回報周期長，睿勵科學儀器在成長階段曾陷入現金流短缺的困境，導致生產經營一度陷入停滯。2019年前后，浦東科創集團會同張江集團、國盛集團等多家投資機構，挺膺擔當、主動作為，發揮國資創投的功能性作用，伸出援手向其投資，助力睿勵科學儀器渡過難關。在配套資金的同時，支持團隊迅速恢復生產和研發，妥善處理房租拖欠，解決歷史包袱后輕裝上陣，快速投入到集成電路產業發展的科技洪流中去。從2018年不到60人、年營收不足500萬元的瀕臨倒閉公司，發展壯大到如今超過250人、收入上億的平臺型高端裝備企業。

其中，浦東科創先后對其投資兩次。浦東科創投資條線相關負責人表示，在睿勵科學儀器經營最為困難、眼看資金鏈斷裂、團隊逐漸縮小、多年的研發投入即將付諸東流之時，選擇出手投資睿勵科學儀器出于四個方面的考慮：“一是全球高科技產業競速，睿勵科學儀器生產的半導體上游核心設備是兵家必爭之地；二是睿勵科學儀器是國內布局前道量檢測領域最早的企業，也是當時唯一一家實現國產自研設備出貨的企業，一度是上海本土該領域的獨苗；三是睿勵的團隊十年如一日在這個領域深耕，其創始人在公司資金緊張之時，自掏腰包支付團隊薪酬，企業精神令人敬佩、感動；四是中微半導體董事長尹志堯博士為睿勵科學儀器的存續奔走呼號，作為同一批歸國創立集成電路前道設備企業的‘革命戰友’，尹總的支持促使我們下定決心。”

隨后，中微半導體于2020年和2021年分兩次向睿勵科學儀器出資合計超過2億元，成為最大股東，持股比例超36%，并由中微半導體董事長尹志堯博士親自出任睿勵科學儀器董事長。從此以后，睿勵科學儀器與中微形成協同效應，邁入企業發展快車道。

二、自研多項國產首臺設備填補半導體設備領域空白

自2019年起，睿勵科學儀器迎來了新一輪快速發展，前道工藝光學量檢測設備領域產品線布局處于國產廠商領先地位，尤其是在膜厚及OCD、缺陷檢測系列設備領域。

 

光學關鍵尺寸量測TFX4000OCD

在膜厚及OCD設備上，陸續推出了TFX3200系列、TFX4000系列、4000-OCD系列、TFX-R系列等設備，可滿足200mm和300mm前后道全產線幾乎所有應用，性能匹配國外同行同等水平，實現國產全替代能力，設備在各節點量產線被廣泛使用，獲得了良好的客戶口碑。

 

光學缺陷檢測WSD300

在缺陷檢測系列設備上，睿勵科學儀器相繼推出了FSD系列、WSD系列和BriteSD。其中，WSD是首先應用于半導體前道工藝過程檢，且唯一實現量產能力的國產缺陷檢測設備，可替代行業國際巨頭在硅基CMP、ADI、AEI inline 以及SiC inline檢測應用，取得多臺重復訂單并驗收；BriteSD300是首臺應用于半導體前道工藝的納米級明場缺陷檢測設備。

就技術而言，缺陷檢測設備具有公司自研的獨特算法模式及獨立設計的光學架構，率先打破國際廠商壟斷，是目前唯一在前道工藝用做過程檢的國產缺陷檢測設備，通過了28nm API驗證，被多條300mm集成電路芯片產線和SiC產線采用；同時，在國內首家推出OCD設備，并完成第二代開發，性能進一步提升，為關鍵尺寸量測方面國產替代提供值得信賴的選擇。

值得一提的是，公司產品可靠性驗證超過10年，在各類客戶不同的生產工藝產線上都通過了大規模量產的驗證，無論是設備穩定性還是快速響應并解決問題的能力都得到了充分驗證，幫助生產線提高生產效率、提升良率，得到了客戶的認可和好評。此外，已完成半導體領域客戶的廣泛布局，并正在開展LED、顯示面板及化合物半導體領域客戶驗證，打開廣闊市場空間。

截至目前，睿勵科學儀器申請專利超170項，授權101項（國外10件），其中發明申請專利78項，實用新型專利24項，外觀設計專利3項；產品已被國內諸多知名Fab企業認證，并已進行泛半導體行業布局，服務客戶包括三星、積塔半導體、中芯、華力微電子、中晶光電等巨頭。預計未來五年實現業績放量增長。

三、近5億元，五家投資機構出手

今年，睿勵科學儀器還將推出3D AOI檢測設備、TSV量測設備，在研和驗證中設備完善產品線布局，保持國內領先。

本輪近5億元融資，將為睿勵科學儀器的未來發展提供強有力的資金支持。睿勵科學儀器總經理楊峰表示：“非常感謝投資方的認可與支持。我們將繼續深耕集成電路芯片生產工藝檢測設備市場，進一步豐富光學量測和光學缺陷檢測產品系列，為實現集成電路前道工藝檢測設備國產化全面替代的目標而努力。”他指出，未來，睿勵科學儀器將持續聚焦在光學量檢測領域，完善膜厚量測、OCD量測、缺陷檢測，開發包括OVL的其他光學量檢測設備。

作為睿勵科學儀器的第一大股東，中微半導體相關負責人表示：“隨著集成電路產業的快速發展，工藝檢測設備的市場需求日益增長，國產化替代進口設備是大勢所趨，睿勵科學儀器在這方面具有巨大的發展空間和市場機會。隨著新一輪融資的完成，我們期待睿勵科學儀器能夠進一步加速產品研發和市場拓展，鞏固其在光學量檢測領域的領先地位。中微半導體將繼續提供全方位的支持，以促進睿勵科學儀器的創新發展和持續成長。我們相信，通過雙方的緊密合作，能為推動國內半導體產業鏈的自主可控和高質量發展做出更大的貢獻。”

本輪融資領投機構金石投資相關負責人表示：“量檢測設備作為晶圓制造工藝的‘尺’，是工藝過程質量控制和保證產線良率‘看護人’，其國產化的自主突破對于國內半導體產業鏈具有重大的戰略意義。睿勵科學儀器團隊深耕該領域近20年，擁有較強的技術優勢、較高的業務專注度以及產品創新能力，是業內具有綜合競爭實力的企業。我們期待與睿勵科學儀器一同成長，為我國集成電路產業自主可控貢獻力量。”

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